Først tilføres den opløste blandede væske i blandingsvæsketanken til filterdugfilteret for at starte filtreringen. På dette tidspunkt vender filtratet tilbage til ovennævnte blandede væsketank til cirkulation.
Hvis der dannes en filterkage med den nødvendige tykkelse på filterdugfilterets filterdug, vender filtratet ikke tilbage til blandingsvæsketanken, men strømmer gennem udløbsvejen til filtrering.
Efter at filtreringen af den opløste blanding er afsluttet, tilføres trykluft til den ene side af filterdugfilteroverfladen på filterdugfilteret for at dehydrere filterkagen dannet på filterdugen, derefter tilføres rent vand til blandingen tank, og filterkagen på filterdugen rengøres ved at tilføre blandingstankens rene vand til filterdugfilteret.
Derefter tilføres trykluft til den modsatte side af filterdugfilteroverfladen af filterdugfilteret for at få filterkagen på filterdugen til at falde af, for at opnå monokrystallinske siliciumpartikler.
